《（全稿）树脂－金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的电解调整原理和基础现象_(可编辑)》

  内容提示：树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮 的电解调整原理和基础现象 王先逵 马明霞 (清华大学精仪系 北京 100084) 庄司克雄 厨川常元 东北大学机械电子工学科 日本国仙台市 980-8579 摘要 针对镜面程度的表面粗糙度和高形状精度同时要求的超精密镜面磨削加工 提出了采用电解调整后的树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的方法其原理是把金属粉末作为添加剂混入到树脂结合剂中在修整砂轮后进行电解处理使其表层的金属成分溶出合剂结构表层是有气孔的树脂结合剂结构论述了树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的电解调整原理进行了电解调整和磨削实验讨...

  树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮 的电解调整原理和基础现象 王先逵 马明霞 (清华大学精仪系 北京 100084) 庄司克雄 厨川常元 东北大学机械电子工学科 日本国仙台市 980-8579 摘要 针对镜面程度的表面粗糙度和高形状精度同时要求的超精密镜面磨削加工 提出了采用电解调整后的树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的方法其原理是把金属粉末作为添加剂混入到树脂结合剂中在修整砂轮后进行电解处理使其表层的金属成分溶出合剂结构表层是有气孔的树脂结合剂结构论述了树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的电解调整原理进行了电解调整和磨削实验讨论了试验过程中的基础现象 关键词树脂-金属结合剂 电解调整 金刚石微粉砂轮 超精密镜面磨削 形成气孔这样砂轮的内部是树脂-金属复合结0 前言 最近以陶瓷半导体和光学玻璃为代表的硬脆性材料对加工精度的要求越来越高精度的精度和镜面程度的表面粗糙度同时要求的加工需求正在一直增长面加工对于半导体基片和计算机硬盘等几何形状简单的零件工方法但是对于外圆柱面和复杂的非球面的超精密镜面加工度和低表面粗糙度的双重要求 磨粒的支持刚性影响形状精度和表面粗糙度 为了确认和保证高形状精度砂轮的刚性应尽可能大但是为得到镜面状态的表面粗糙度性的角度看超精密镜面磨削的要求是矛盾的 金属结合剂砂轮刚性大对保证形状精度有利困难要达到这一程度对磨床精度和刚性的要求十分苛刻面粗糙度的要求往往高于形状精度因此应充分的发挥树脂结合剂的弹性效果树脂结合剂因具备以下三个优点而适用于镜面磨削易于使切削刃突出高度均匀使用树脂砂轮可降低对磨床精度和刚性的苛刻要求磨削过程中会出现磨粒回转现象具有自生作用的效果很难保证形状精度此外金刚石微粉砂轮特别是小于 W 5. 0 的树脂结合剂金刚石微粉砂轮易于埋没于结合剂中磨粒之间的容屑槽减小极易发生阻塞加工表面上的质量恶化 为了充分的发挥树脂结合剂在超精密镜面磨削加工中的优势剂金刚石微粉砂轮表面制造容屑槽本文提出兼用树脂结合剂和金属结合剂的优点的树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮用于超精密镜面磨削特别是高这种加工被称为超精密镜一般会用先磨削后研磨磨削过程则必须同时满足高形状精抛光的加砂轮的刚性低有利因此从工具刚但其不易加工出镜面程度的表面粗糙度在实际的超精密镜面磨削加工中修整表 树脂砂轮弹性高具有吸震性并且树脂砂轮在但是由于树脂结合剂弹性大易变形因此磨粒导致砂轮的切削能力大幅度降低抑制其过量的变形并在树脂结合将电解调整后 1 树脂- 金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的电解调整原理 在砂轮制作的完整过程中弹性变形把金属铜粉末作为添加剂混入到树脂结合剂中来提升了砂轮的整体刚性改善工件的形状精度金属粉末可以限制树脂的使用前先修整砂轮然后对砂轮进